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半导体靶材主要有哪些?

[ 发布日期:2021-10-23 14:35:33 点击:583 【打印此文】 【关闭窗口】]

半导体镀膜用靶材主要有W、WTi合金、Ti、Ta、Al、Cu、Au、Pt等。半导体镀膜要求靶材纯度很高,对碱金属、放射性元素等杂质含量要求也十分严格。


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