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沉积的薄膜内应力的来源在哪?
[ 发布日期:2021-07-17 09:34:45 点击:333
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(1)薄膜和基材之间的晶格失配;
(2)薄膜和基材之间的热膨胀系数差异;
(3)晶界之间的互挤。
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薄膜要有良好的附着力必须具有哪些基本特性?
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化学气相沉积法反应步骤有哪些?
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