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沉积的薄膜内应力的来源在哪?

[ 发布日期:2021-07-17 09:34:45 点击:333 【打印此文】 【关闭窗口】]
(1)薄膜和基材之间的晶格失配;
(2)薄膜和基材之间的热膨胀系数差异;
(3)晶界之间的互挤。

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