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采购靶材需要注意什么?

[ 发布日期:2021-02-20 18:29:00 点击:653 【打印此文】 【关闭窗口】]

1、密度,这个是主要的,好的靶密度至少达到97%以上,所以大家买回靶来以后可以根据重量体积来计算一下 你们的靶的密度和理论块体的密度的比例有多少,低于90%的退货。

2、开裂问题,套磁靶很容易开裂,所以大家一定要求用cu的背板,这个是必须的,另外靶材不宜太厚,小于5mm为佳。金属靶是不大会开裂的,否则它的密度肯定很差。

3、电导率,对于AZO、ITO靶材来说,买回来了可以测测他们的电导率是多少,不同公司用的粉不同,电导率有很大差别,越小做出来的膜导电性肯定越好了。否则做不出你需要的电阻率的。好的AZO靶材的AZO粉很重要,较好的是用纯的AZO粉,但是价格很贵,而且工艺比较复杂,这样的靶材做出来的膜电阻率较好。

目前国内主要是采用ZnO和Al2O3粉掺在一起做,但是问题是Al很难掺杂进ZnO中,所以电阻率不大好。ITO相类似。


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