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什么是靶材绑定?

[ 发布日期:2020-11-06 18:25:33 点击:609 【打印此文】 【关闭窗口】]
一、靶材绑定的定义

靶材绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要由三种方式:压接、钎焊和导电胶。

1、压接:采用压条,一般为了提高接触的良好性,会增加石墨纸、Pb或In皮;

2、钎焊:一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W/cm2,钎料常用In、Sn、In-Sn;

3、导电胶:采用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0.05um。

二.绑定的适用范围

建议绑定的靶材:

ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及烧结靶材;锡、铟等软金属靶;靶材太薄、靶材太贵的情况等。

但下列情况绑定有弊端:

1、熔点低的靶材,像铟、硒等,金属化的时候可能会变软变形;

2、贵金属靶材,一是实际重量易出现分歧,二是金属化以及解绑的时候都会有浪费料,建议垫一片铜片。

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