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磁控溅射镀膜速率低是怎么回事?

[ 发布日期:2020-06-08 10:57:47 点击:1133 【打印此文】 【关闭窗口】]
  (1)氩气进气量过大或过小,观察辉光颜色可以判定氩气是过大还是过小,据此调整氩气进气量;检修流量计;
  
  (2)靶材过热,检查冷却水流量;
  
  (3)检查永磁体是否消磁。

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