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怎样提高溅射靶材的效率?

[ 发布日期:2020-03-29 20:10:41 点击:694 【打印此文】 【关闭窗口】]
  磁控溅射通常的溅射方法,溅射效率不高。为了提高溅射效率,首先需要增加气体的离化效率。

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