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怎样达到最高溅射速率?

[ 发布日期:2019-10-13 21:35:38 点击:180 【打印此文】 【关闭窗口】]
由于溅射时靶材原子容易沿原子六方最紧密排列方向择优溅射出来,因此,为达到最高溅射速率,常通过改变靶材结晶结构的方法来增加溅射速率。靶材的结晶方向对溅射膜层的厚度均匀性影响也较大,因此,获得一定结晶取向的靶材结构对薄膜的溅射过程至关重要。

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