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旋转靶材描述里面有一个100%life,有的靶材为60%life,这里的life是什么意思?

[ 发布日期:2018-10-31 10:57:05 点击:797 【打印此文】 【关闭窗口】]

如果有可能的话,最可能的是靶材利用率,磁控旋转靶材一般在两头的位置,磁场形成回路,磁场最强,这样,磁控溅射聚集更多的自由电子,形成较强的自维持放电现象。相对应的,最容易溅射,溅射速率增强,所以溅射速度较其他地方的溅射速率快,靶材消耗就快,最后形成两端凹陷。

这样情况下,凹陷部分靶材最先用完,其他地方的靶材还没有用完,所以便有了靶材利用率一说。普通的平面靶材的利用率一般是旋转靶材的1/2左右。旋转靶材的利用率一般在60%左右。如果能达到100%的靶材利用率的,除了改变磁场强度的手段,就是改变靶材的结构。



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