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真空镀膜时为什么会出现产品掉膜的现象?

[ 发布日期:2018-09-26 17:03:07 点击:1186 【打印此文】 【关闭窗口】]
1、表面清洁度
 
产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。
 
2、清洗过程中的问题
 
镀前清洗不到位,或更换了清洗液。

3、工艺的问题
 
工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。
 
4、靶材的问题
 
钛靶是否中毒,检查和更换。

5、真空腔是否漏气
 
进行次捡漏。
 
6、产品表面氧化
 
氧化的原因很多,可以自行判断处理。


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