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溅射和溅射靶材的区别和用途

[ 发布日期：2017-12-28 11:14:57 点击：1844 【打印此文】 【关闭窗口】]

溅射是个过程名词，溅射靶材：是指可通过电流束缚磁场方向轰击其表面才生离子的材料，

般溅射靶材可分为：金属靶材，非金属靶材，陶瓷靶等等


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