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靶材的运用原理有什么?

[ 发布日期:2018-08-27 11:07:36 点击:661 【打印此文】 【关闭窗口】]
靶材运用:荷能粒子(例如氩离子)轰击固体表面,引起表面各种粒子,如原子、分子或团束从该物体表面逸出的现象称“溅射”。在磁控溅射镀膜中,通常是应用氩气电离产生的正离子轰击固体(靶),溅出的中性原子沉积到基片(工件)上,形成膜层,磁控溅射镀膜具有“低温”和“快速”两大特点。

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