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先进的磁控溅射镀膜设备镀膜的薄厚度是多少?

[ 发布日期:2018-08-22 16:43:50 点击:738 【打印此文】 【关闭窗口】]
镀6nm是可以实现,但是需要注意控制好挡板的开关,尽量快速。同时保持好膜料的致性,放低蒸发速率,比如0.15nm/s。真空的控制也很重要,但是现在般都是采用apc控制,这点不算太难。反正句话,参与蒸发的工艺条件都尽可能的保持致,这样可以得到较好的重复性。

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