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溅射靶材保养方法有哪些?

[ 发布日期:2022-08-03 点击:110 来源:丰联科光电(洛阳)股份有限公司 【打印此文】 【关闭窗口】]

       溅射靶材作为一种零件,在微电子领域、显示器等领域中都有着广泛的应用,在溅射靶材的使用过程中,溅射靶材的保养也是不可忽视的方面,经常保养溅射靶材能够减少溅射靶材表面的残留物,提高靶材的利用效率,那么溅射靶材的保养方法有哪些呢?下面丰联科小编带大家来了解一下

 

  溅射靶材保养方法

 

  1、溅射靶材维护

 

  靶材维护能够避免在靶材的溅射过程中,因为溅射靶材不干净的腔体而导致出现短路或起弧现象,因此需要阶段性地去除靶材溅射轨道中间和两侧的堆积物,有助于使用者能连续地以大功率密度进行溅射。

 

  2、溅射靶材储存

 

  对于溅射靶材的储存,尽量将其储存在真空包装中,特别是贴合溅射靶材,须在真空条件下储存,避免出现贴合层氧化导致影响溅射靶材贴合质量。储存金属溅射靶材时,可以将其储存在洁净的塑料袋中,不过能真空包装就尽量将其真空包装储存。

 溅射靶材

  3、溅射靶材清洁

 

  首先使用在丙酮中浸泡过的无绒软布进行清洁,之后再使用酒精进行清洁,清洁完后使用去离子水对溅射靶材进行清洗,清洗完成后将溅射靶材放在烘箱中以100度的温度烘干30分钟,如果是陶瓷溅射靶材的话建议使用无绒布进行清洗。上述全部完成后,再用高压低湿气的氩气对溅射靶材进行冲洗,清洗掉会在溅射系统中引起电弧的不纯颗粒。

 

  4、溅射靶材的短路和密封性查看

 

  溅射靶材在安装完成后要对整个阴极进行短路检查和密封性检查,一般是使用电阻仪摇表的形式对阴极进行检查,判断它是否存在短路现象,在确保阴极不存在短路现象后,再对它进行密封性检查,将水通入阴极中来判断是否存在漏水的现象。

 

  5、溅射靶材的包装和运输

 

  在溅射靶材的运输过程中,尽量将靶材包装在带有防潮剂的真空密封袋中,之后使用木箱做为外包装,并在其四周安装防撞层,保护靶材和背板,防止靶材和背板在运输储存过程中损坏。

 

  以上就是丰联科对溅射靶材保养方法的全部介绍,溅射靶材按时的维修保养能够提高靶材的利用效率,减少使用时发生故障的概率。丰联科光电股份有限公司钼及钼合金靶材、钨及钨合金靶材等产品,如果您想了解更多相关资讯,欢迎向我们致电咨询。


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