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靶材生产时溅射镀膜膜层常见问题及解决方法

[ 发布日期:2020-11-06 点击:5745 来源:丰联科光电(洛阳)股份有限公司 【打印此文】 【关闭窗口】]
  溅射靶材是通过离子轰击靶材表面,靶材的原子被击出,此现象称为溅射。溅射靶材在溅射过程中产生的原子沉积在基体表面成膜被称为溅射镀膜,然而在溅射镀膜时膜层经常会有不少问题的出现,下面就跟着四丰的小编一起来看看溅射镀膜膜层常见问题及解决方法吧。
  

  一、膜层常见问题

  宽幅钼靶材

  1、膜层灰暗

  
  膜层灰暗或发灰问题的产生原因有以下几方面:
  
  (1)真空度低于0.67Pa。
  
  (2)氩气纯度低于99.9%。
  
  (3)充气系统漏气。
  
  (4)底漆未充分固化。
  
  (5)镀件放气量太大。
  

  2、膜层光泽暗淡

  
  膜层表面光泽暗淡的产生原因有以下几方面:
  
  (1)底漆固化不良或变质。
  
  (2)溅射时间太长。
  
  (3)溅射成膜速度太快。
  

  3、膜层色泽不均

  
  膜层色泽不均的产生原因有以下几方面:
  
  (1)底漆喷涂得不均匀。
  
  (2)膜层太薄。
  
  (3)夹具设计不合理。
  
  (4)镀件的几何形状太复杂。
  

  4、膜层发皱龟裂

  
  膜层发皱龟裂的产生原因有以下几方面:
  
  (1)底漆喷涂得太厚。
  
  (2)涂料的粘度太高。
  
  (3)蒸发速度太快。
  
  (4)膜层太厚。
  
  (5)镀件温度太高。
  

  5、膜层表面有水迹

  
  膜层表面有水迹、指纹及灰粒的产生原因有以下几方面:
  
  (1)镀件清洗后未充分干燥。
  
  (2)镀件表面溅上水珠或唾液。
  
  (3)涂底漆后手接触过镀件,表面留下指纹。
  
  (4)涂料中有颗粒物。
  
  (5)静电除尘失效或喷涂和固化环境中有颗粒灰尘。
  

  6、膜层附着力不良

  
  膜层附着力不良容易导致膜层脱落,此情况的产生原因有以下几方面:
  
  (1)底漆未充分固化。
  
  (2)镀件除油脱脂不彻底。
  
  (3)真空室内不清洁。
  
  (4)夹具不清洁。
  
  (5)底涂料选用不当。
  
  (6)溅射工艺条件控制不当。
  
  (7)膜材太厚也容易脱落。
  

  二、膜层问题解决方法

  

  1、膜层灰暗

  
  (1)将真空度提高到0.13-0.4Pa。
  
  (2)换用纯度为99.99%的氩气。
  
  (3)检查充气系统,排除漏气现象。
  
  (4)适当延长底漆的固化时间。
  
  (5)进行干燥和封孔处理。
  

  2、膜层光泽暗淡

  
  (1)适当延长底漆的固化时间或更换底漆。
  
  (2)适当缩短溅射时间。
  
  (3)适当降低溅射电流或电压。
  

  3、膜层色泽不均

  
  (1)改进底漆的施涂方法。
  
  (2)适当提高溅射速度或延长溅射时间。
  
  (3)改进夹具设计。
  
  (4)适当提高镀件的旋转速度。
  

  4、膜层发皱龟裂

  
  (1)控制在7- HIOtan厚 度范围内。
  
  (2)适当降低涂料的粘度。
  
  (3)适当减慢蒸发速度。
  
  (4)适当缩短溅射时间
  
  (5)适当缩短对镀件的加温时间。
  

  5、膜层表面有水迹

  
  (1)加强镀前处理。
  
  (2)加强文明生产,操作者应带口罩。
  
  (3)严禁用手接触镀件表面。
  
  (4)过滤涂料或更换涂料。
  
  (5)更换除尘器,并保持工作环境的清洁。
  

  6、膜层附着力不良

  
  (1)延长底漆的固化时间。
  
  (2)加强镀前处理
  
  (3)洗真空室,值得注意的是,在装靶和拆靶的过程中,严禁用手或不干净物体与磁控源接触,以保证磁控源具有较高的清洁度。
  
  (4)清洗夹具。
  
  (5)更换涂料。
  
  (6)改进溅射工艺条件。
  
  (7)如果是金属衬底,加热衬底可以改善脱落情况。
  
  上述是关于溅射镀膜膜层常见问题及解决方法的介绍,希望能对大家有所帮助。通过上面对问题的分析,许多问题都是因为操作工艺不合理或细节处理不到位,或是清洁不干净等造成的,所以在生产靶材时一定要注意这些问题,避免问题出现而又导致返工。洛阳高新四丰电子材料有限公司致力打造全世代线溅射镀膜用高纯钼/铜/钛靶材的本土化研发和生产基地,十余年技术经验积累,专注于溅射靶材研发、生产,具有先进工艺装备,靶材能年产1000吨,如果您有需要,欢迎电话联系或下方留言咨询。

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