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ito溅射镀膜工艺的优势及应用领域

[ 发布日期:2019-12-01 点击:218 来源:洛阳高新四丰电子材料有限公司 【打印此文】 【关闭窗口】]
  现在制备ITO薄膜的方法有很多,不同的方法原理不同,产物的形貌结构会有很大的差异,产量的也会相差很大。在如此众多的方法中,溅射镀膜获得的ITO薄膜密度高,而且薄膜的纯度较高,下面就由四丰小编为您介绍一下ito溅射镀膜工艺的优势及应用。
  

  一、ito溅射镀膜的优势


ito靶材


  1、高密度ITO靶面在溅射过程中较短时间内不容易产生结瘤低价氧化铟),并且溅射过程中有效抑制飞弧现象(即局部击穿放电),降低了ITO膜中杂质缺陷出现机率,避免了等离子体辉光不稳定而导致溅射工艺不稳定。
  
  2、成分结构均匀性好的高密度IT0靶溅射出的膜其成分才均匀,反之亦然。
  
  3、高密度IT0靶材溅射出的IT0膜电阻率低,靶内不会出现大量空洞,进而保证溅射过程中ITO薄膜的纯度和成分均匀性,终确保ITO膜导电性能。
  
  4、高密度ITO靶使用寿命长且靶的厚度较薄,提高了溅射靶材的使用率。
  
  5、高密度ITO靶材热导率高,防止在溅射过程中由于热应力的存在而使靶开裂。
  

  二、ito溅射镀膜的应用

  
  1、高速发展的FPD行业,IT0薄膜作为透明电极大量用于液晶显示器、等离子体显示器等平面显示器上。
  
  2、太阳能行业,异质结构的SIS太阳能电池顶部用ITO薄膜作氧化物层,可以提高并稳定光电转换效率6,同时ITO薄膜也可以用作a- -Si 基太阳能电池照明电极。如果用作建筑物幕墙,冬天可以防寒,夏天可以隔热。
  
  3、ITO薄膜玻璃作为面发热体,用在汽车、飞机挡风玻璃、飞船眩窗、坦克激光测距仪、机载光学侦察仪等,不仅起隔热降温作用,而且通电后还可以除冰霜,因此也得到广泛应用。
  
  4、良好的微波屏蔽作用,可使ITO薄膜应用于防静电、屏蔽电磁波等领域,甚至可用于防雷达的隐形飞机上。红外线的高反射率和紫外线的高吸收率,可以使;ITO薄膜用于特殊防护领域。
  

  以上就是对于ito溅射镀膜工艺的优势及应用领域介绍,溅射镀膜是目前工业上应用较广的镀膜方法,并且成膜面积大,沉积速度快,可适用于大规模生产。洛阳四丰电子材料专注于溅射靶材研发、生产十余年,秉承“做精每一块”靶材的经营理念,可以根据客户要求,进行有关使用等方面的技术指导,欢迎您留言咨询或致电洽谈合作。

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