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溅射靶材是干什么用的?用途及工作原理

[ 发布日期:2022-07-11 点击:21965 来源:丰联科光电(洛阳)股份有限公司 【打印此文】 【关闭窗口】]
  随着市场高科技产品的不断研发,靶材也在市面上频频出现,溅射靶材就是其中的种,它具备优良的性能,非常受市场的欢迎,然而还有很多人不知道溅射靶材是干什么用的,今天四丰小编就来为大家介绍一下溅射靶材的用途及工作原理吧!
  

  一、溅射靶材的用途

  

  1、微电子领域

  
  在各种应用产业中,半导体产业对于靶材溅射薄膜的品质要求是很苛刻的,比如硅片厂家的要求是高纯度、大尺寸、细晶粒和低偏析,所以这就要求靶材需要有更好的微观结构。
  

  2、显示器

  
  近年来平面显示器大幅冲击以阴极射线管为主的电脑显示器及电视,所以也带动了靶材的技术及市场需求。目前平面显示器的薄膜多采用溅射成形。溅射用靶材主要有In2O3、SnO2、MgO、w、Mo、Ni、Cu、Cr等。
  溅射靶材

  3、存储用

  
  根据储存技术的高密度、大容量硬盘的发展,就需要大量的巨磁阻薄膜材料,一般在信息存储行业中使用溅射靶材制备的相关薄膜产品有硬盘、磁头光盘等。
  
  当然溅射靶材的用途可不止这些,还可以应用于高温耐蚀、耐磨材料、装饰用品等行业,利用溅射靶材制备的各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、太阳能光伏、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用。
  

  二、溅射靶材工作原理

  
  溅射靶材主要是由靶坯、背板等部分构成,靶坯属于高速离子束流轰击的目标材料,是核心部分,在溅射镀膜的过程中,靶坯被离子撞击后,表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜。因为高纯度金属强度较低,可是溅射靶材需要安装在专用的机台内完成溅射过程,机台内部为高电压、高真空环境,所以超高纯金属的溅射靶坯需要与背板通过不同的焊接工艺进行接合,背板主要起到了固定溅射靶材的作用,以及良好的导电、导热性能。
  
  以上是对于溅射靶材是干什么用的这一问题的解答,经过以上介绍可知溅射靶材可用于微电子领域、显示器、存储用及高温耐蚀、耐磨材料、装饰用品等行业,用途非常广泛,洛阳高新四丰电子材料有限公司生产的溅射靶材工艺优良、质量优异、种类多样,随时欢迎大家致电或留言咨询。

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