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真空镀膜时为什么会出现产品掉膜的现象?

[ 发布日期:2018-03-19 点击:2780 来源:洛阳高新四丰电子材料有限公司 【打印此文】 【关闭窗口】]

真空电镀时产生掉膜的原因很多也很复杂。处理起来很棘手,可以考虑从以下几个方面排除:

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1、表面清洁度

 

产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。

 

2、清洗过程中的问题

 

镀前清洗不到位,或更换了清洗液。

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3、工艺的问题

 

工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。

 

4、靶材的问题

 

钛靶是否中毒,检查和更换。

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5、真空腔是否漏气

 

进行一次捡漏。

 

6、产品表面氧化

 

  氧化的原因很多,可以自行判断处理。


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